在实际应用中，选择加热方式需综合考虑多种因素，如镀膜材料的性质、镀膜的要求、设备成本等，以下是各种真空镀膜机加热方式的优缺点：
电阻加热：
优点：结构简单，成本较低。
缺点：加热温度有限，可能存在温度分布不均匀的情况。
电子束加热：
优点：加热速度快，可达到高温度。
缺点：设备复杂，成本较高。
高频感应加热：
优点：加热均匀，效率较高。
缺点：对坩埚材料有一定要求。
电弧加热：
优点：可获得高能量的蒸发。
缺点：控制难度较大。
激光加热：
优点：具有高度的选择性和控制性，能实现局部加热。
缺点：设备成本高。