蒸发真空镀膜机为啥要真空条件下镀膜

在常压下蒸镀膜料无法形成理想的薄膜,事实上,如在压力不够低 ( 或者说真空度不够高 ) 的情况下同样得不到好的结果,比如在10 2托数量级下蒸镀铝,得到的膜层不但不光亮,甚至发灰、发黑,而且机械强度极差,用松鼠毛刷轻轻一刷即可将铝层破坏,为啥蒸发真空镀膜设备蒸镀材料必须要在真空状态下,而且真空镀还要达到一定的标准,蒸发真空镀膜机要镀制膜层,必须要真空状态下才能进行镀膜,膜层才会牢固,才不会有污染物等,蒸镀必须在一定的真空条件下进行,这是因为: 1、较高的真空度可以保证汽化分子的平均自由程大于蒸发源到基底的距离。由于气体分子的热运动,分子之间的碰撞也是极其频繁的,所以尽管气体分子运动的速度相当的高 ( 可达每秒几百米 ) ,但是由于它在前进的过程中要与其它分子多次碰撞, 一个分子在两次连续碰撞之间所走的距离被称为它的自由程, 而大量分子自由程的统计平均值就被称为分子的平均自由程。 气体压强与单位体积的分子数成正比, 因此平均自由程与气体的压强亦成正比。在真空淀积薄膜过程中,当淀积距离大于分子的平均自由程时被称为低真空淀积, 而当淀积距离小于分子的平均自由程时被称为高真空淀积。在高真空淀积时,蒸发原子 ( 或分子 ) 与残余气体分子间的碰撞可以忽略不计,因此汽化原子是沿直线飞向基片的,这样保持较大动能到达基片的汽化原子即可以在基片上凝结成较牢固的膜层。在低真空淀积时,由于碰撞的结果会使汽化原子的速度和方向都发生变化,甚至可能在空间生成蒸汽原子集合体—其道理与水蒸汽在大气中生成雾相似。 2、在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下, 真空室内含有众多的残余气体分子( 氧、氮、水及碳氢化合物等 ) ,它们能给薄膜的镀制带来极大的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短;它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应; 它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜;它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命;它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行。

真空镀膜机镀制工件前后区别?

对于PVD真空镀膜,不同的产品应该选择合适的电镀工艺,磁控溅射镀(主要金属产品),蒸发镀(主要塑胶产品),光学离子镀(主要璃玻产品),颜色同样有多种选择,PVD真空镀膜机给工件镀制膜层后,膜层具有耐磨、耐腐蚀、硬度高、干润滑性,美观、华丽,同时还具备环保等,真空镀膜机广泛应用在各个行业当中,其中不乏机械、电子、五金、航空航天、医疗、化工等领域,PVD真空镀膜机镀膜前后有什么区别,体现在哪里? PVD镀膜前后有什么不一样的地方: 1.电镀的膜层越厚,保色时间越长。 2.电镀后因为质量以及使用寿命的延长,能为产品带来附加价值提升,有利于提高产品经济收益。 3.产品经过镀膜后,会在产品表面形成一种保护膜,可以有效抵抗腐蚀,更加耐磨,提升产品质量。 4.镀膜能够改变产品外观,可根据不同产品客户群体电镀不同颜色外观,满足消费需求,如五金真空镀膜18k金。

PVD真空镀膜机和CVD镀膜机区别?

薄膜沉积技术根据成膜机理的不同,主要分为物理、化学、外延三大工艺。物理气相沉积镀膜设备,简称PVD真空镀膜机。化学气相沉积镀膜机,简称为CVD镀膜机。 薄膜沉积技术是半导体、光伏等行业发展必不可少的关键工艺。薄膜沉积技术是指将在真空下用各种方法获得的气相原子或分子在基体材料表面沉积以获得离层被膜的技术。它既适合于制备超硬、耐蚀、耐热、抗氧化的机械薄膜,又适合于制备磁记录,信息存储、光敏、热敏、超导、光电转换等功能薄膜;此外,还可用于制备装饰性镀膜。近20年来,薄膜沉积技术得到了飞速发展,现已被广泛应用于机械、电子、装饰等领域。 PVD真空镀膜机沉积速度快、沉积温度低、物理手段对环境友好、更适应硬质合金精密复杂刀具的涂层。PVD是指在真空条件下利用高温蒸发或高能粒子等物理方法轰击靶材,使靶材表面原子“蒸发”并沉积在衬底表面,沉积速率高,一般适用于各类金属、非金属、化合物膜层的平面沉积。按照沉积时物理机制的差别,物理气相沉积一般分为真空蒸发镀膜技术、真空溅射镀膜、离子镀膜和分子束外延等。近年来,薄膜技术和薄膜材料的发展突飞猛进、成果显著,在原有基础上,相继出现了离子束增强沉积技术、电火花沉积技术、电子束物理气相沉积技术和多层喷射沉积技术等。 CVD镀膜设备种类繁多,当前PECVD为主流技术,未来市占率有望进一步提升。CVD是指利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程,是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。CVD镀膜重复性和台阶覆盖性较好,可用于SiO2、Si3N4、PSG、BPSG、TEOS等介质薄膜,以及半导体、金属(W)、各类金属有机化合物薄膜沉积。CVD种类繁多,根据腔室压力、外部能量等不同,可大致分为 APCVD、LPCVD、SACVD、 PECVD、MOCVD等类别。CVD设备反应源容易获得、镀膜成分多样、设备相对简单、特别适用于在形状复杂的零件表面和内孔镀膜。

塑料镜面板的真空镀膜机设计应该注意什么,能减少捡漏工作

1、根据设备的工艺要求,确定真空镀膜机的总的最大允许漏率,并依据这一总漏率确定各组成部件的最大允许漏率。 2、根据设备的最大允许漏率等指标,在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法,并将其作为指导调试 验收的基本原则之一。 3、根据设备或部件的最大允许漏率指标,决定设备的密封、连接方式和总体加工精度,以及何种动密封形式能够满足要求。如,法兰采用金属密封或橡胶密封。 4、容器结构强度设计时,考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。 5、选择零部件结构材料时,考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。 6、结构设计时,在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口,以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统,通常需要采用分段检漏方法,因此在管路上要设置分段隔离的阀门,并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。 7、零件结构设计时,尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式,因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出,形成虚漏。从而延长系统抽气时间,干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。 8、与此类似,结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构,因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏;而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时,“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长,无法正常检漏。 9、焊接结构设计时,尽量减少总装后无法检漏的焊缝。 真空镀膜机捡漏工作,是需要在设计、制造、调试、使用各个有关环节中随时进行,但是为了减少后期捡漏工作加重,必须要在源头设计环节,就应该重视捡漏工作,确保真空镀膜机后期环节捡漏环节的减少。

有机玻璃镜面板材的真空镀膜机维护技巧

1、扩散泵在重新开机前,要注意检漏工作。 扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。 方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。 2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。 方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。 3、真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。 方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

光学真空镀膜机组成结构和原理

光学真空镀膜机我们正常情况称之为高端真空镀膜机,它的价格和配置都比常规镀膜机要求高一些,镀膜的精度也会要求更严格,那么光学真空镀膜机结构和工作原理是怎样的呢? 光学真空镀膜机由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成,其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是镀膜机的主体,镀膜过程就是在真空罐中完成的,通过连接阀将真空罐和排气系统相连。为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量,在工作时,必须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成,负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。蒸镀系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置有很多种,如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。 光学真空镀膜机通过真空溅射的方式在光学元件上涂镀薄膜, 以此改变元件对入射光线的反射率和透过率。同时,为了尽可能地减少元件表面的反射损失、提高成像质量,往往涂镀多层薄膜。光学元件镀膜后,光在多层膜层的表面进行多次反射和透射,形成多光束干涉,通过控制膜层的厚度和折射率,可以得到不同的强度分布。利用这一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等,以满足更加复杂的需求。

真空镀膜机镀膜有哪几种技术?

真空镀膜机镀膜技术,简单地来说就是在真空环境下,利用蒸发、溅射等方式发射出膜料粒子,沉积在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上形成镀膜层。它的主要方法包括以下几种: 1,真空蒸镀 其原理是在真空条件下,用蒸发器加热膜料,使其气化或升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。 2,溅射镀膜 溅射镀膜是真空条件下,在阴极接上高压电,激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极靶材,使其射出膜料粒子,并沉积到基片上形成膜层。 3,离子镀膜 离子镀膜通常指在镀膜过程中会产生大量离子的镀膜方法。在膜的形成过程中,基片始终受到高能粒子的轰击,膜层强度和结合力非常强。 4,真空卷绕镀膜 真空卷绕镀膜是一种利用各种镀膜方法,在成卷的柔性薄膜表面上连续镀膜的技术,以实现柔性基体的一些特殊功能性、装饰性属性。

离子真空镀膜机电弧放电

离子真空镀膜机镀膜是属于弧光放电,如将弧光放电的限流电阻减小,则放电电流增大,并转入电弧放电。电弧放电的特点是电流密度大而极间电压低,其自持依赖于新的电子发射机制,即热发射和冷发射。热发射是因正离子轰击阴极出现局部高温而产生的;冷发射则是因阴极表面存在局部强电场而引起的。前者称为热电子电弧,后者称为冷阴极电弧。作为强光源的碳极电弧就是热电子电弧;电力工业用的汞弧整流管则利用冷阴极电弧。 离子真空镀膜机电弧放电的一个重要特点是阴极上有阴极点。热电子电弧的点一般是固定不动的;冷阴极电弧如汞弧整流管液汞表面上的点是跳跃移动的。阴极点是电子发射的来源,其电流密度高达数百至数千安/厘米2。电弧放电的伏安特性随电极材料、气体种类、压力而异。大气中的碳极电弧呈现出典型的负阻特性,因此外电路中必须串有限流电阻,以稳定电流。电弧放电产生强烈的辐射,其强度随气体压力和电流密度而增大。放电区中温度最高点在一个大气压下约为4200K,在10个大气压下为6520K,在几十或几百大气压下达10000K。碳极电弧是最早的强光光源。各种高气压放电灯如高气压汞灯、氙灯、钠灯,是在管泡内进行电弧放电的光源。电弧焊接、电弧切割在工业上有广泛应用;电弧的高温可作为电炉的热源。

塑料镜面板材的光学真空镀膜机清洁保养方法

塑料镜面板材的光学真空镀膜机日常清洁和维护非常重要。日常清洁保养做得好可以降低日常生产成本、减少故障率、效率等优点。塑料镜面板材的光学真空镀膜机清洁保养方法,希望可以帮助大家: 塑料镜面板件的光学真空镀膜机的保养: (一)定期更换扩散泵 扩散泵油使用一段时间,约二个月(两班),因在长期高温环境下,虽然出现真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其他成分使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生氧气,产量下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。 (二)真空泵机械泵油、维持泵油在使用二个月内 ,油质会发生变化。因油可能抽入水分、更换及其他原因,而使用油粘性变差,真空泵更换,故需更换如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在合期,含油磨合铁粉污染物,会严重加重。 (三)清洁卫生 定期将设备及周围环境卫生搞好,常保持设备外部清洁,将设备周围环境整理好,有一个良好的工作环境,以保障安全。 塑料镜面板材的光学真空镀膜机清洗: 设备使用一个星期后(三班),因镀料除在工件表面外镀,亦因无定向性而工作室内的衬板镀料,并越镀越厚,该层膜厚因组织、周围疏松,吸收大量气体而真空镀膜设备抽气速度越来越慢。此时,应对工作室及衬板进行清理,如不需要拆除落来的部件,可用砂纸完美完美,衬板可浸泡在氟氢酸水溶液里,氢氟酸和水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。衬板必须壁纸水份才能安装,衬板前,衬板的水分要抹干,工作架等部件用砂纸清洁后,需要把真空室的所有吸尘器吸干净,此可用吸尘器吸干净。最后安装衬板时,真空室及衬板都需要用酒精吸尘器清洁干净由于使用电子枪及离子源辅助镀膜,可能会造成清洁困难,可使用喷沙等方法来清洁。

亚克力镜面板的真空镀膜机为何要安装深冷捕集泵?

亚克力镜面板的真空镀膜机镀有高精密的膜层,要达到高真空环境,必须抽走真空镀膜机腔体里面的空气,因此用真空泵抽走气体,是往往不够的,因为空气中,不仅仅是有,还有气体,因此采用深冷集泵,必要 在真空捕获中,水分子比氧气,氧气等空气主要成分的分子泵都小,因此,无论是油扩散泵还是分子泵,都无法迅速,有效蒸发其抽出,故而越积越多,最终成为占残余油气体65%~95%以上的剩余气体; 同时,由于真空泵在使用过程中首先会产生泵蒸发现象,会有 由于水蒸气和油蒸汽的存在,导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度,导致抽真空时间变长,生产效率下降,所需真空度校正,潮湿越大,影响越明显。 同时,水蒸气、油蒸气的存在,会导致地膜层急剧度下降,无法多层双层膜,颜色不均一等。 水蒸气在某些条件下还会电离,产生氧气,使靶材氧化,导致膜颜色发生变化。环境湿度增大,温度校准,所需真空度校正,影响梯度。因此,水蒸气、油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要杀菌气体。 亚克力镜面板的真空镀膜机镀高精密的膜层,所采用深冷捕集泵的性能特点 1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%; 2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色纯正; 3、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃; 4、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温; 5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制; 6、一台设备可设计两路负载输出; 7、进口压缩机,环保混合型制冷剂; 8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示; 9、除霜温度自由设定; 10、具有水温温度、排气温度显示; 11、缺水、水温过高报警; 12、压缩机排气过高、压力过高保护; 13、可本地、远程控制自由转换; 14、RS485计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。 日常常规亚克力镜面板的真空镀膜机,镀常规产品,可能只需要真空泵抽真空就行,但是镀制高精密的膜层,如光学膜层、柔性材料膜层等,很多真空镀膜机都需要配置深冷捕集泵。